国家/地区 | 美国(4) 中国(3) 韩国(3) 台湾(3) 世界知识产权组织(3) 日本(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/32(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(3) 2022(2) |
申请年 |
2021(5)![]() |
专利权人 |
NAOYA N, KAZUNORI T, NOSAKA N, TAKANASHI K
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W
LEE C, KIM C, LEE E, BYUN K, KIM S, SHIN H, SHIN H J, BYUN K E, LEE C S, LI C, JIN C, LI Y, JIN S, SHEN X