国家/地区 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 韩国(2) 台湾(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6) B32(3) B82(3)
C01(3) C30(2) H01(2)
IPC小类 C23C(6) B32B(3) B82Y(3)
C01B(3) C30B(2) H01G(2)
IPC C23C016/32(6)
发明人
公开年
申请年 2021(2) 
专利权人