| 国家/地区 | 美国(4) 中国(3) 韩国(3) 台湾(3) 世界知识产权组织(3) 日本(2) |
| IPC部 |
C(5)
H(3)
B(2)
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| IPC大类 |
C01(5)
|
| IPC小类 |
C01B(5)
C23C(5)
C04B(2)
C30B(2) H01B(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C016/32(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(3) 2022(2) |
| 申请年 |
2021(5)
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| 专利权人 |
NAOYA N, KAZUNORI T, NOSAKA N, TAKANASHI K
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W
LEE C, KIM C, LEE E, BYUN K, KIM S, SHIN H, SHIN H J, BYUN K E, LEE C S, LI C, JIN C, LI Y, JIN S, SHEN X
