| 国家/地区 | 美国(3) 中国(2) |
| IPC部 |
B(5)
|
| IPC大类 |
C23(5)
H01(5)
B82(4)
C01(3) |
| IPC小类 |
C23C(5)
B82Y(4)
H01L(4)
C01B(3) H01G(3) |
| IPC |
C23C016/02(5)
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| 发明人 | ELSAYED K A M(3) MAAROUF A A(3) |
| 公开年 | 2023(4) |
| 申请年 |
2022(5)
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| 专利权人 | UNIV IMAM AB.(3) |
LI J, FU Y, DAI Y, LIN C, WANG Z, LIN L, YANG Y, HU Y, XU Z, FU Z
LUO M, CHENG T, WANG X, ZU Y, YU C
