国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) C01(4) H01(2)
IPC小类 C23C(5) C01B(3) C01G(2)
H01L(2)
IPC C23C016/44(5)
发明人
公开年 2021(5)
申请年 2021(5)
专利权人 UNIV SINGAPO.(2)