国家/地区 中国(103)
IPC部 C(103) H(30) B(23)
G(7) D(2) F(2)
IPC大类 C23(103)
IPC小类 C23C(103) C01B(24) H01L(17)
B82Y(12) B22F(6) H01M(6)
B01J(5) H01B(5) C09K(4)
C30B(4) G01N(4) B82B(3)
C23F(3) H01J(3) B05D(2)
IPC C23C016/455(103)
发明人 LI X(6) ZHANG Y(6) LI Z(5)
WANG Y(5) ZHANG H(5) DUAN Y(4)
HUANG D(4) LI J(4) LIU Z(4)
MA Y(4) SHI H(4) WU J(4)
XIA Y(4) YU J(4) ZHANG J(4)
公开年 2021(22) 2022(17) 2017(11) 2020(11) 2019(9) 2016(7) 2023(7) 2013(6) 2014(5) 2018(5) 2015(2)
申请年 2020(19)  2021(17)  2022(14)  2019(12)  2017(9)  2016(8)  2013(6)  2014(6)  2018(6)  2015(2) 
专利权人 BEIJING GRAP.(4) CHONGQING GR.(4) UNIV PEKING(4) AIXTRON SE(3)
BEIHAI HUIKE.(3) HKC CO LTD(3) CHINA DONGFA.(2) IND TECHNOLO.(2)
NINGBO INST .(2) SHANGHAI XIN.(2) UNIV HAINAN(2) UNIV JILIN(2)
UNIV SINGAPO.(2) UNIV TAIYUAN.(2) UNIV TSINGHU.(2) WUXI GRAPHEN.(2)
WUXI SIXTH E.(2) ZHEJIANG CHI.(2)