国家/地区 美国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 B82(6)
IPC小类 B82Y(6)
IPC C23C016/48(6)
发明人
公开年 2012(2)
申请年 2011(2)  2014(2) 
专利权人

HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H