国家/地区 世界知识产权组织(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) C23(5) H01(3)
B01(2) B82(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/505(5)
发明人
公开年 2021(3) 2023(2)
申请年 2020(2) 
专利权人