国家/地区 中国(21)
IPC部 C(21)
IPC大类 C23(21)
IPC小类 C23C(21) H01L(6) C01B(5)
B05D(4) B22F(4) C22C(3)
H01J(3) B01J(2) C09D(2)
H01M(2)
IPC C23C016/505(21)
发明人 LI Z(4) LIU Y(4) LI X(3)
CHEN N(2) FAN T(2) LI Y(2)
LIU Z(2) NARKEVICIUTE I(2) VARADARAJAN B N(2)
WANG K(2) WU Z(2) YANG K(2)
YAO S(2)
公开年 2021(6) 2020(5) 2022(5) 2017(3) 2023(2)
申请年 2020(5)  2019(4)  2021(4)  2022(3)  2016(2)  2023(2) 
专利权人 BEIJING GRAP.(2) LAM RES CORP(2) UNIV PEKING(2) UNIV SHANGHA.(2)

KIM S, BYUN K, CHO Y, SHIN K, LEE E, LEE C, SONG H, SHIN H, YOON J, LEE S, LIM H, BYUN K E, CHO Y C, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, SHIN H J, SU Y J, LEE S Y, LIM H S, LI Z, YOUN J, SHEN X, LI C, LI Y, ZHAO L, JIN S