国家/地区 |
中国(21)![]() |
IPC部 |
C(21)![]() |
IPC大类 |
C23(21)![]() |
IPC小类 |
C23C(21)![]() |
IPC |
C23C016/505(21)![]() |
发明人 |
LI Z(4)
LIU Y(4)
LI X(3)
CHEN N(2) FAN T(2) LI Y(2) LIU Z(2) NARKEVICIUTE I(2) VARADARAJAN B N(2) WANG K(2) WU Z(2) YANG K(2) YAO S(2) |
公开年 | 2021(6) 2020(5) 2022(5) 2017(3) 2023(2) |
申请年 | 2020(5) 2019(4) 2021(4) 2022(3) 2016(2) 2023(2) |
专利权人 |
BEIJING GRAP.(2)
LAM RES CORP(2)
UNIV PEKING(2)
UNIV SHANGHA.(2)
|
ZHANG G, LI X, XIA J, WANG S, ZHU Z
KIM S, BYUN K, CHO Y, SHIN K, LEE E, LEE C, SONG H, SHIN H, YOON J, LEE S, LIM H, BYUN K E, CHO Y C, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, SHIN H J, SU Y J, LEE S Y, LIM H S, LI Z, YOUN J, SHEN X, LI C, LI Y, ZHAO L, JIN S
CHEN L, CHEN S, YIN Y, ZHOU J, ZHOU Q, QI X
YUAN H, CHENG Y, CHENG S, QI Y, WANG K, LIU Z
CHEN X, LI Z, WANG M, MA Y
NARKEVICIUTE I, VARADARAJAN B N, SHARMA K, NARKEBICHUDDER I