| 国家/地区 | 日本(2) 美国(2) |
| IPC部 |
C(4)
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| IPC大类 |
C01(4)
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| IPC小类 |
C01B(4)
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| IPC |
C23C016/26(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2017(4)
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| 申请年 | 2016(2) |
| 专利权人 |
ANDREASSEN JAKOBSEN M, DATSYUK V, JAKOBSEN M A
KUMAGAI M, YOSHINO I, UMENO M, UCHIDA H
