国家/地区 美国(4) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) C01(4) B82(2)
H01(2)
IPC小类 C23C(5) C01B(4) B82Y(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2014(3) 2013(2)
申请年 2013(5)
专利权人