国家/地区 美国(10)
IPC部 B(10)
IPC大类 B82(10)
IPC小类 B82Y(10)
IPC C23C016/52(10)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
公开年 2021(3) 2013(2)
申请年 2013(2)  2020(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4)