国家/地区 中国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7) C01B(6) B82Y(5)
B22F(2) H01L(2)
IPC C23C016/52(7)
发明人
公开年 2013(3)
申请年 2013(2) 
专利权人