国家/地区 |
中国(7)![]() |
IPC部 |
B(7)![]() |
IPC大类 |
C23(7)![]() |
IPC小类 |
C23C(7)
C01B(6)
B82Y(5)
B22F(2) H01L(2) |
IPC |
C23C016/52(7)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) |
申请年 | 2013(2) |
专利权人 |
DAI D, YANG K, LIN Z, JIANG N, MA H
WU M Y, HSIEH C, PENG C, WU Y, XIE C, HSIEH C Y, PENG C S
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K
MALECKI H C, DAHNE J L, LOEBACH J P, GAIGLER R L, LEDFORD J T, MALECKI H, DAHNE J, LOEBACH J, GAIGLER R, LEDFORD J