国家/地区 | 美国(6) 中国(4) 韩国(4) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
C(8)![]() |
IPC大类 |
C23(8)![]() |
IPC小类 |
C23C(8)
C01B(7)
B82Y(6)
H01L(6) B32B(4) B05D(2) C23F(2) H01B(2) |
IPC |
C23C016/56(8)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2012(5) 2013(3) |
申请年 |
2011(8)![]() |
专利权人 | EMPIRE TECHN.(2) |
CHOI J W, LEE C M, MUK L C, CHOI J U
KIM S O, HWANG J O, LEE D H
SONG B, PENG P, JIN H
CHOI B, LEE E, WHANG D, CHOI B L, LEE E K, WHANG D M, CHOE P, HWANG T