国家/地区 美国(6) 中国(4) 韩国(4) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8) C01B(7) B82Y(6)
H01L(6) B32B(4) B05D(2)
C23F(2) H01B(2)
IPC C23C016/56(8)
发明人
公开年 2012(5) 2013(3)
申请年 2011(8)
专利权人 EMPIRE TECHN.(2)