国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5) C23C(5) C30B(5)
B32B(4) B05D(3) H01L(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年
申请年 2009(2) 
专利权人