国家/地区 欧洲专利局(EPO)(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4) C01(3) C30(2)
IPC小类 C23C(4) C01B(3) C30B(2)
IPC C23C028/00(4)
发明人
公开年 2013(4)
申请年 2011(3) 
专利权人