国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) C30B(5) B82Y(3)
C01B(3) H01L(3)
IPC C30B025/10(5)
发明人
公开年 2021(2)
申请年
专利权人