国家/地区 美国(3) 韩国(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 H01(4) C01(3) C23(2)
IPC小类 H01J(4)
IPC H01J037/32(4)
发明人
公开年 2022(2) 2023(2)
申请年 2022(4)
专利权人