国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5)
IPC部 A(5)
IPC大类 C01(5) C23(5) A41(2)
A61(2) B01(2) B32(2)
B82(2) C12(2) G01(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人 CHOI K(2) HEIGHT M(2) PARK H(2)
PARK H G(2)
公开年 2017(2)
申请年 2016(2) 
专利权人 HEIQ MATERIA.(2)