国家/地区 韩国(11) 美国(3)
IPC部 B(11)
IPC大类 C01(10) B01(7) B82(4)
H01(4) C23(3) G01(2)
IPC小类 C01B(10) B01J(7) B82Y(4)
H01L(4) C23C(3) B82B(2)
G01N(2) H01B(2)
IPC C01B031/02(10) B01J019/10(3) C23C016/26(3)
B01J019/08(2) B01J019/12(2) B82B003/00(2)
B82Y040/00(2) H01B001/04(2) H01L031/042(2)
发明人 CHOI I S(2) FEI L(2) JUNG J H(2)
KIM S O(2) LEE K J(2) OH I K(2)
SEO T S(2) VADAHANAMBI S(2)
公开年 2013(7) 2012(2)
申请年 2011(11)
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(11)