国家/地区 韩国(8) 世界知识产权组织(3) 美国(2)
IPC部 B(8)
IPC大类 C23(8) C01(7) B01(5)
H01(3) B05(2) B32(2)
B82(2)
IPC小类 C23C(8)
IPC C01B031/02(7) C23C016/26(6) B01J019/08(2)
B01J023/755(2) B05D005/12(2) B32B009/00(2)
B82Y040/00(2) C23C016/06(2) H01L021/00(2)
发明人 KIM S O(3) LEE K J(3) BYUNG J C(2)
CHOI I S(2) HWANG J O(2) LEE D H(2)
SEOK W J(2)
公开年 2013(5) 2012(2)
申请年 2011(3)  2012(3) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(8)