国家/地区 中国(15)
IPC部 B(15)
IPC大类 C23(15) B82(6) C01(6)
B22(4) C22(4) B01(3)
B32(3) B05(2) C09(2)
C25(2) H01(2)
IPC小类 C23C(15) B82Y(6) C01B(6)
C22C(4) B01J(3) B22F(3)
B32B(3) B05D(2) C25D(2)
H01L(2)
IPC C23C014/02(15)
发明人 WANG L(3) CHEN Y(2) WANG C(2)
公开年 2022(5) 2021(3) 2023(2)
申请年 2021(4)  2022(4)  2011(2)  2020(2) 
专利权人