国家/地区 韩国(3) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5) B32(2) C01(2)
H01(2)
IPC小类 C23C(5) B32B(2) C01B(2)
H01L(2)
IPC C23C016/02(5)
发明人
公开年 2018(5)
申请年 2016(2)  2017(2) 
专利权人