国家/地区 台湾(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5) C01(4) H01(3)
B32(2) C30(2)
IPC小类 C23C(5) C01B(4) H01L(3)
B32B(2) C30B(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人 MUELLEN K(2) SACHDEV H(2) SCHWAB M G(2)
公开年 2015(5)
申请年 2014(3)  2013(2) 
专利权人 BASF SE(2) MAX PLANCK G.(2)