国家/地区 台湾(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) H01L(5) C01B(4)
B82Y(3)
IPC C23C016/26(6)
发明人 BINDER A(2) THOMAS S(2) WEBER N(2)
公开年 2018(2)
申请年 2014(2)  2016(2) 
专利权人 BASF SE(2)