国家/地区 |
德国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
B82Y(4)
C01B(4)
C23C(2)
H01L(2) |
IPC |
B82Y030/00(4)
B82Y040/00(4)
C01B032/182(2)
C01B032/186(2) C23C016/56(2) H01L029/16(2) |
发明人 |
GUINEY I(2)
TAYLOR M(2)
THOMAS S(2)
TYLER M(2) |
公开年 |
2021(5)![]() |
申请年 | 2020(3) 2021(2) |
专利权人 | PARAGRAF LTD(2) |
CHEN L, LI J, KYRLIDIS A, DOSHI D A, ZHANG P
GUINEY I, TYLER M, THOMAS S, TAYLOR M