国家/地区 德国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 B82Y(4) C01B(4) C23C(2)
H01L(2)
IPC B82Y030/00(4) B82Y040/00(4) C01B032/182(2)
C01B032/186(2) C23C016/56(2) H01L029/16(2)
发明人 GUINEY I(2) TAYLOR M(2) THOMAS S(2)
TYLER M(2)
公开年 2021(5)
申请年 2020(3)  2021(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(2)