国家/地区 中国(5) 美国(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/26(7)
发明人 LIU Z(2)
公开年 2019(7)
申请年 2019(4)  2018(2) 
专利权人 UNIV PEKING(2)