国家/地区 美国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4)
IPC小类 B82Y(4)
IPC B82Y030/00(4) B82Y040/00(4) C01B032/186(4)
C23C016/01(4) C23C016/02(4) C23C016/26(4)
C23C016/34(4) H01G009/20(4) H01L031/0224(4)
发明人 MAAROUF A A(4)
公开年 2023(2)
申请年 2022(3) 
专利权人 UNIV IMAM AB.(4)