国家/地区 韩国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6) C01(5) H01(4)
B82(3) B01(2)
IPC小类 C23C(6) C01B(5) B82Y(3)
H01L(3) B01J(2)
IPC C23C016/02(6)
发明人
公开年 2013(3) 2014(2)
申请年 2013(6)
专利权人