国家/地区 |
韩国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C23(6)
C01(5)
H01(4)
B82(3) B01(2) |
IPC小类 |
C23C(6)
C01B(5)
B82Y(3)
H01L(3) B01J(2) |
IPC |
C23C016/02(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) 2014(2) |
申请年 |
2013(6)![]() |
专利权人 |
WANG W, GUO S, OZKAN C S, OZKAN M
MOON J, RHO J, PARK S, KIM T, HONG B, PARK W, JUNG M, KIM T H, ROH J
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G