国家/地区 日本(21)
IPC部 C(21)
IPC大类 C01(21) H01(10) C23(6)
B82(3) C04(3) C07(3)
C09(3) C30(3) H05(3)
B33(2) C08(2)
IPC小类 C01B(21)
IPC C01B032/186(6) C23C016/26(6) C01B032/182(5)
C01B032/184(5) C01B032/194(4) C01B032/198(4)
H01L021/205(4) B33Y070/10(2) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B032/168(2) C01B032/174(2)
C01B032/19(2) C08K009/04(2) C23C016/44(2)
发明人 IFUKU R(4) MATSUMOTO T(4) WADA M(4)
KABUKI N(3) JIE T(2) KUN Z(2)
LI L(2) LIN S Q(2) SHIQI L(2)
TAKAHASHI K(2) TANG J(2) YAMADA H(2)
ZHANG K(2)
公开年 2022(14) 2023(7)
申请年 2022(21)
专利权人 TOKYO ELECTR.(6) MATERIALS IN.(2) NAT MATERIAL.(2)