国家/地区 台湾(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(4) H01(3) B32(2)
C02(2) C23(2)
IPC小类 C01B(4) B32B(2) C02F(2)
C23C(2) H01L(2)
IPC
发明人 WU C(6)
公开年 2022(4)
申请年 2021(3) 
专利权人 UNIV TAIWAN .(3) TAIWAN SEMIC.(2)