| 国家/地区 | 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 日本(2) |
| IPC部 |
B(5)
|
| IPC大类 |
B32(5)
|
| IPC小类 |
B32B(5)
C01B(5)
C23C(2)
H01L(2) |
| IPC |
C01B032/182(5)
|
| 发明人 | |
| 公开年 | 2017(4) |
| 申请年 |
2016(5)
|
| 专利权人 |
MITSUHASHI F, ISHIZUKA T, UENO M, TSUKUDA Y, TATENO Y, SUEMITSU M, FUKIDOME H, NAGASAWA H, MIHASHI F
AOTA NATSUKO, AIDA HIDEO, TACHIBANA MASARU, MORISAKO SHIYO, AOTA N, AIDA H, TACHIBANA M, MORISAKO S
VEERASAMY V S, VEERASAMY V
