| 国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(5)
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| IPC部 |
B(5)
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| IPC大类 |
C01(5)
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| IPC小类 |
C01B(5)
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| IPC |
C23C014/02(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 | 2011(3) |
| 专利权人 |
BURGGRAF J, JUERGEN B
HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H
BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J
