国家/地区 中国(7)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10) C01(4) H01(4)
C22(2) H05(2)
IPC小类 C23C(10) C01B(4) H01L(4)
C22C(2) H05B(2)
IPC C23C014/24(10)
发明人 CHENG J(2) FAN L(2) HE H(2)
YANG J(2) YANG X(2) ZENG X(2)
公开年 2020(4) 2021(4) 2022(2)
申请年 2020(10)
专利权人 UNIV YANGZHO.(2)