国家/地区 中国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7) B82Y(2) C01B(2)
C22C(2) H01L(2)
IPC C23C014/24(7)
发明人 HE H(3) CHENG J(2) FAN L(2)
YANG J(2) YANG X(2) ZENG X(2)
公开年 2020(7)
申请年 2020(4)  2019(3) 
专利权人 UNIV YANGZHO.(2)