国家/地区 美国(4) 中国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 B01(6)
IPC小类 C23C(6) B01J(5) C01B(4)
B82Y(2) H01L(2)
IPC C23C016/01(6)
发明人
公开年 2016(2)
申请年 2016(3) 
专利权人