| 国家/地区 |
印度(4)
|
| IPC部 |
C(4)
|
| IPC大类 |
C23(4)
C01(3)
C30(3)
H01(2) |
| IPC小类 |
C23C(4)
C01B(3)
C30B(3)
H01L(2) |
| IPC |
C23C016/02(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
SHRIVASTAVA M, KHANEJA M, MEERSHA A
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L
STRUDWICK A, SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, WEBER N, BINDER A, MULLEN K, STRUDWICK A J, WEBER N E
