国家/地区 中国(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C23(11)
IPC小类 C23C(11) C25F(2) G01D(2)
H01L(2)
IPC C23C016/26(11)
发明人 ZHANG D(11)
公开年 2015(3) 2016(3) 2017(2) 2018(2)
申请年 2016(4)  2017(3)  2014(2) 
专利权人 SHANGHAI INS.(3) BEIJING C N.(2) INST MICROEL.(2) LIAONING ADV.(2)
SHENYANG INS.(2) UNIV SHANGHA.(2)