国家/地区 | 美国(5) 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B82(6)![]() |
IPC小类 |
B82Y(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2017(5) |
申请年 |
2016(6)![]() |
专利权人 |
LUTZ T, PURKL F, ROELVER R, ROHLFING F
ZARETSKI A, LIPOMI D J, SAVTCHENKO A, MOLOKANOVA E, MERCOLA M
BOUCHIAT V, CORAUX J, HAN Z
SWETT J L, BEDWORTH P V, HEISE S E, SINTON S W, SIMON S M
YU Y, HU Y, SUN T, YANG J, WEI D, SHI H, DU C