| 国家/地区 | 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(5)
|
| IPC大类 |
C30(5)
C01(4)
H01(3)
C23(2) |
| IPC小类 |
C30B(5)
C01B(4)
C23C(2)
H01L(2) |
| IPC |
C30B025/02(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2021(5)
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| 申请年 | 2020(3) 2021(2) |
| 专利权人 |
HONG Y, JUNG J S, JUNGJOONSUCK
XU X, LIANG Z, ZENG F, WANG R, TANG Z
LING D, LIU J, WEI D, ZHANG Q, HE X
