| 国家/地区 | 日本(4) 美国(4) 中国(3) 台湾(3) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(4)
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| IPC大类 |
C23(4)
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| IPC小类 |
C23C(4)
C30B(4)
H01L(3)
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| IPC |
C30B025/04(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
MUNSHI M, WEMAN H, DHEERAJ D L, FIMLAND B M, VIGEN L, BARRIET D, PIMLANDBJOERNOBEEM, WIGGENREIDULPH, DAVID B
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
