国家/地区 日本(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9) H01J(9) B82B(3)
H01M(3) C23C(2) D01F(2)
H01L(2)
IPC H01J001/304(9)
发明人
公开年 2001(2)
申请年 2002(2) 
专利权人