国家/地区 美国(7) 韩国(4) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 B32(7)
IPC小类 B32B(7)
IPC C01B031/04(5) B32B009/00(3) C01B031/02(3)
C23F001/00(3) B05D003/10(2) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
发明人 CHOI J(2)
公开年 2010(7)
申请年 2009(4)  2008(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J