国家/地区 中国(6) 美国(3) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC C30B025/18(6) C23C016/26(4) C30B029/02(3)
C23C014/06(2) C23C014/34(2) C23C016/02(2)
C23C028/00(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(6)
申请年 2016(6)
专利权人