国家/地区 | 中国(6) 美国(3) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C23(6)![]() |
IPC小类 |
C23C(6)![]() |
IPC |
C30B025/18(6)
C23C016/26(4)
C30B029/02(3)
C23C014/06(2) C23C014/34(2) C23C016/02(2) C23C028/00(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2016(6)![]() |
申请年 |
2016(6)![]() |
专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
FU L, GU J, PANG A, ZHANG X
CHEN X, XU X, ZHAG F, ZHAO X, ZHANG F
LI Y, SONG Y, WANG S, ZHANG Z, ZHANG L
CHEN Z, HAO Y, ZHANG J, LV J, XU S, NING J, REN Z, WANG D, LIN Z