国家/地区 |
美国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C23(6)![]() |
IPC小类 |
C23C(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)
C30B025/18(4)
C30B029/02(4)
C01B031/04(3) C01B032/186(3) C23C014/06(3) C23C016/02(3) C23C014/34(2) C23C028/00(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2016(6)![]() |
申请年 | 2015(3) 2016(3) |
专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
BOINTON T H, BARNES M D, RUSSO S, CRACIUN M, HARDISTY BOINTON T
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
HSIEH Y, HOFMANN M, CHIU Y
CHEN Z, HAO Y, ZHANG J, LV J, XU S, NING J, REN Z, WANG D, LIN Z