国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC C23C016/26(5) C30B025/18(4) C30B029/02(4)
C01B031/04(3) C01B032/186(3) C23C014/06(3)
C23C016/02(3) C23C014/34(2) C23C028/00(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(6)
申请年 2015(3)  2016(3) 
专利权人