国家/地区 |
中国(7)![]() |
IPC部 |
B(7)![]() |
IPC大类 |
B32(7)
C23(7)
C01(6)
B82(4) G02(3) H01(3) H05(3) |
IPC小类 |
B32B(7)![]() |
IPC |
C23C016/26(7)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(7)![]() |
申请年 | 2013(5) 2012(2) |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
LI G, WANG Y, LEE K
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
CHIBA YOSHIHIRO, CHIBA Y, CHIBA G, YOSHIHIRO C
REN Y, CHEN Z, ZHANG Y, ZENG F, MA H, DING P, CHEN H, XU H
NAITO K, YOSHINAGA N, NAKANO Y, AKASAKA Y, MATAKE S, AKITA M, MATEKE S