国家/地区 韩国(5) 美国(4)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) H01(4)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/04(5) C01B031/02(3) H01L029/786(2)
发明人 SONG Y W(2)
公开年 2015(4)
申请年 2014(5)
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(5)