| 国家/地区 | 中国(2) 美国(2) |
| IPC部 |
C(4)
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| IPC大类 |
C01(4)
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| IPC小类 |
C01B(4)
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| IPC |
C23C014/06(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2014(4)
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| 申请年 | 2013(2) |
| 专利权人 |
HUANG C, CHIU S, CHUNG C, WU B, HUANG J, QIU S, ZHONG C, HUANG C H, CHIU S M, CHUNG C J, WU B H
DI Z, CHEN D, DING G, WANG G, XIE X, ZHANG M, YE L, ZHENG X, LU Z
